目前，我國(guó)制作真空集熱管普遍采用的仍然是多層鋁-氮/鋁太陽(yáng)選擇性吸收涂層制造技術(shù)。這一技術(shù)是清華大學(xué)殷志強(qiáng)教授和他的同事們于1984年發(fā)明，1985年申報(bào)國(guó)家專(zhuān)利，1987年獲得批準(zhǔn)的（專(zhuān)利號(hào)：ZL851001424）。

這一技術(shù)的基本原理是在鍍膜機(jī)內(nèi)，設(shè)置單圓柱鋁靶的磁控濺射系統(tǒng)。鍍膜機(jī)內(nèi)一次裝載數(shù)十只作為集熱管內(nèi)管的玻璃管，在行星機(jī)構(gòu)傳動(dòng)下，玻璃管做公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)。立式圓柱鋁靶在中心位置，在氬氣中非反應(yīng)濺射沉積鋁底層，再注入流量可控的氮?dú)?，制備多層鋁—氮復(fù)合薄膜材料作為吸收層。

這一被稱(chēng)為漸變鋁-氮、鋁太陽(yáng)選擇性吸收涂層的制造技術(shù)，其太陽(yáng)吸收比可達(dá)0。93，發(fā)射比約0。05（80℃）。這是世界上第一次只采用一種金屬材料，既制備金屬底層又制備復(fù)合薄膜材料的選擇性吸收涂層。清華陽(yáng)光公司利用此項(xiàng)技術(shù)生產(chǎn)的曬樂(lè)牌紫金系列真空集熱管，經(jīng)國(guó)家輕工業(yè)玻璃產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢測(cè)中心檢測(cè)，其太陽(yáng)吸收比α=0。95（AM1。5）；半球發(fā)射比εh=0。050（80℃±5℃）。